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Metastable Defects in Proton Implanted and Annealed Silicon
| Verfasserangaben: | Moriz Jelinek, G. Johannes, Naveen Laven, Goud Ganagona, Reinhart Job, Werner Schustereder, Hans-Joachim Schulze, Matthias Rommel, Lothar Frey |
|---|---|
| ISBN: | 978-3-03835-608-0 |
| Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | P. Pichler (Editor): Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology XVI (GADEST 2015) |
| Verlag: | Trans Tech Publications Ltd. |
| Verlagsort: | Zürich |
| Dokumentart: | Beitrag in einem Buch (Kapitel) |
| Sprache: | Englisch |
| Jahr der Fertigstellung: | 2016 |
| Jahr der Erstveröffentlichung: | 2016 |
| Datum der Freischaltung: | 11.01.2019 |
| Erste Seite: | 169 |
| Letzte Seite: | 174 |
| Fachbereiche: | Elektrotechnik und Informatik (ETI) |
| Publikationsliste: | Job, Reinhart |
| Lizenz (Deutsch): |  Bibliographische Daten |