Metadaten| Verfasserangaben: | Sebastian Gerke, H.-W. Becker, D. Rogalla, F. Singer, N. Brinkmann, S Fritz, Adnan Hammud, P. Keller, D. Skorka, D. Sommer, C. Weiß, S. Flege, Giso Hahn, Reinhard Job, Barbara Terheiden |
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| DOI: | https://doi.org/10.1016/j.tsf.2015.11.063 |
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| Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Thin Solid Films |
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| Dokumentart: | Beitrag in einer (wissenschaftlichen) Zeitschrift |
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| Sprache: | Englisch |
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| Jahr der Fertigstellung: | 2016 |
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| Jahr der Erstveröffentlichung: | 2016 |
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| Datum der Freischaltung: | 11.01.2019 |
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| Band / Jahrgang: | 598 |
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| Erste Seite: | 161 |
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| Letzte Seite: | 169 |
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| Fachbereiche: | Elektrotechnik und Informatik (ETI) |
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| Publikationsliste: | Job, Reinhart |
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| Lizenz (Deutsch): |  Bibliographische Daten |
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