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Imaging Superjunctions in CoolMOS™ Devices using Electron Beam Induced Current

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Verfasserangaben:Stefan Kirnstötter, Martin Faccinelli, Peter Hadley, Reinhart Job, Werner Schustereder, G. Johannes, Hans-Joachim Laven
Titel des übergeordneten Werkes (Mehrsprachig):G. Wirth, N. Morimoto, D. Vasileska (Editors): Microelectronics Technology and Devices - SBMicro 2012, ECS Transactions <u>49</u>(1)
Dokumentart:Beitrag in einem Buch (Kapitel)
Sprache:Mehrsprachig
Jahr der Fertigstellung:2012
Jahr der Erstveröffentlichung:2012
Datum der Freischaltung:11.01.2019
Erste Seite:475
Letzte Seite:481
Fachbereiche:Elektrotechnik und Informatik (ETI)
Publikationsliste:Job, Reinhart
Lizenz (Deutsch):License LogoBibliographische Daten