Bias-plasma for RF magnetron sputter deposition of passivating amorphous silicon layers
Verfasserangaben: | Sebastian Gerke, Giso Hahn, Reinhart Job, Barbara Terheiden |
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DOI: | https://doi.org/10.1016/j.egypro.2015.12.302 |
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Energy Procedia |
Dokumentart: | Beitrag in einer (wissenschaftlichen) Zeitschrift |
Sprache: | Englisch |
Jahr der Fertigstellung: | 2015 |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2015 |
Datum der Freischaltung: | 11.01.2019 |
Band / Jahrgang: | 77 |
Erste Seite: | 75 |
Letzte Seite: | 82 |
Fachbereiche: | Elektrotechnik und Informatik (ETI) |
Publikationsliste: | Job, Reinhart |
Lizenz (Deutsch): | Bibliographische Daten |