Designing MEMS Pressure Sensors with Integrated Circuitry on Silicon for Miscellaneous Applications
| Verfasserangaben: | Wolfgang Schreiber-Prillwitz, Reinhart Job |
|---|---|
| DOI: | https://doi.org/10.1109/LASCAS.2013.6519006 |
| Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | 2013 IEEE Fourth Latin American Symposium on Circuits and Systems (LASCAS) |
| Dokumentart: | Beitrag in einem Buch (Kapitel) |
| Sprache: | Englisch |
| Jahr der Fertigstellung: | 2013 |
| Jahr der Erstveröffentlichung: | 2013 |
| Datum der Freischaltung: | 11.01.2019 |
| Erste Seite: | 1 |
| Letzte Seite: | 4 |
| Fachbereiche: | Elektrotechnik und Informatik (ETI) |
| Publikationsliste: | Job, Reinhart |
| Lizenz (Deutsch): |  Bibliographische Daten |