Bias-plasma for RF magnetron sputter deposition of passivating amorphous silicon layers
| Verfasserangaben: | Sebastian Gerke, Giso Hahn, Reinhart Job, Barbara Terheiden |
|---|---|
| DOI: | https://doi.org/10.1016/j.egypro.2015.12.302 |
| Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Energy Procedia |
| Dokumentart: | Beitrag in einer (wissenschaftlichen) Zeitschrift |
| Sprache: | Englisch |
| Jahr der Fertigstellung: | 2015 |
| Jahr der Erstveröffentlichung: | 2015 |
| Datum der Freischaltung: | 11.01.2019 |
| Band / Jahrgang: | 77 |
| Erste Seite: | 75 |
| Letzte Seite: | 82 |
| Fachbereiche: | Elektrotechnik und Informatik (ETI) |
| Publikationsliste: | Job, Reinhart |
| Lizenz (Deutsch): |  Bibliographische Daten |