Investigation of Doping Type Conversion and Diffusion Length Extraction of Proton Implanted Silicon by EBIC
| Verfasserangaben: | Stefan Kirnstötter, Martin Faccinelli, Peter Hadley, Reinhart Job, Werner Schustereder, G. Johannes, Hans-Joachim Laven |
|---|---|
| Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | E. Simoen, C. L. Claeys, P. Stallhofer, R. Falster, C. Mazuré (Editors): High Purity Silicon 12, ECS Transactions <u>50</u>(5) |
| Dokumentart: | Beitrag in einem Buch (Kapitel) |
| Sprache: | Englisch |
| Jahr der Fertigstellung: | 2012 |
| Jahr der Erstveröffentlichung: | 2012 |
| Datum der Freischaltung: | 11.01.2019 |
| Erste Seite: | 115 |
| Letzte Seite: | 120 |
| Fachbereiche: | Elektrotechnik und Informatik (ETI) |
| Publikationsliste: | Job, Reinhart |
| Lizenz (Deutsch): |  Bibliographische Daten |