A New Method to Increase the Doping Efficiency of Proton Implantation in a High-Dose Regime
| Verfasserangaben: | Moriz Jelinek, G. Johannes, Reinhart Laven, Werner Job, Hans-Joachim Schustereder, Mathias Schulze, Lothar Rommel |
|---|---|
| Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | E. Simoen, C. Claeys, O. Kakatsuka, R. Falster, C. Mazuré (Editors): High Purity Silicon XIII, ECS Transactions 64(11) |
| Dokumentart: | Beitrag in einem Buch (Kapitel) |
| Sprache: | Englisch |
| Jahr der Fertigstellung: | 2014 |
| Jahr der Erstveröffentlichung: | 2014 |
| Datum der Freischaltung: | 11.01.2019 |
| Erste Seite: | 199 |
| Letzte Seite: | 208 |
| Fachbereiche: | Elektrotechnik und Informatik (ETI) |
| Publikationsliste: | Job, Reinhart |
| Lizenz (Deutsch): |  Bibliographische Daten |