Designing MEMS Pressure Sensors with Integrated Circuitry on Silicon for Miscellaneous Applications
Verfasserangaben: | Wolfgang Schreiber-Prillwitz, Reinhart Job |
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DOI: | https://doi.org/10.1109/LASCAS.2013.6519006 |
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | 2013 IEEE Fourth Latin American Symposium on Circuits and Systems (LASCAS) |
Dokumentart: | Beitrag in einem Buch (Kapitel) |
Sprache: | Englisch |
Jahr der Fertigstellung: | 2013 |
Jahr der Erstveröffentlichung: | 2013 |
Datum der Freischaltung: | 11.01.2019 |
Erste Seite: | 1 |
Letzte Seite: | 4 |
Fachbereiche: | Elektrotechnik und Informatik (ETI) |
Publikationsliste: | Job, Reinhart |
Lizenz (Deutsch): | Bibliographische Daten |