Deep-Level Defects in High-Dose Proton Implanted and High-Temperature Annealed Silicon
| Verfasserangaben: | Moriz Jelinek, G. Johannes, Mathias Laven, Werner Rommel, Hans-Joachim Schustereder, Lother Schulze, Reinhart Frey |
|---|---|
| Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | E. Simoen, C. Claeys, O. Kakatsuka, R. Falster, C. Mazuré (Editors): High Purity Silicon XIII, ECS Transactions <u>64</u>(11) |
| Dokumentart: | Beitrag in einem Buch (Kapitel) |
| Sprache: | Englisch |
| Jahr der Fertigstellung: | 2014 |
| Jahr der Erstveröffentlichung: | 2014 |
| Datum der Freischaltung: | 11.01.2019 |
| Erste Seite: | 173 |
| Letzte Seite: | 185 |
| Fachbereiche: | Elektrotechnik und Informatik (ETI) |
| Publikationsliste: | Job, Reinhart |
| Lizenz (Deutsch): |  Bibliographische Daten |