Improvement of Integrated Pressure Sensor Systems Fabricated by a Combined CMOS- and MEMS-Technology with regard to Low Pressure Ranges
Metadaten| Verfasserangaben: | Wofgang Schreiber-Prillwitz, Reinhart Job |
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| Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | G. Wirth, N. Morimoto, D. Vasileska (Editors): Microelectronics Technology and Devices - SBMicro 2012, ECS Transactions <u>49</u>(1) |
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| Dokumentart: | Beitrag in einem Buch (Kapitel) |
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| Sprache: | Englisch |
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| Jahr der Fertigstellung: | 2012 |
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| Jahr der Erstveröffentlichung: | 2012 |
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| Datum der Freischaltung: | 11.01.2019 |
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| Erste Seite: | 417 |
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| Letzte Seite: | 424 |
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| Fachbereiche: | Elektrotechnik und Informatik (ETI) |
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| Publikationsliste: | Job, Reinhart |
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| Lizenz (Deutsch): |  Bibliographische Daten |
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