Materialspezifische Effekte und Limitierung bei der Mikrostrukturierung mit ps-Laserstrahlung und Scanneroptik
Author: | J. Hildenhagen, M. Smarra, K. Dickmann |
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Parent Title (German): | Scientific Reports |
Publisher: | Journal of the University of Appl. Sciences |
Place of publication: | Mittweida |
Document Type: | Part of a Book |
Language: | German |
Year of Completion: | 2012 |
Year of first Publication: | 2012 |
Release Date: | 2019/01/11 |
Edition: | 2 |
First Page: | 66 |
Last Page: | 69 |
Faculties: | Physikingenieurwesen (PHY) |
Licence (German): | Bibliographische Daten |