Materialspezifische Effekte und Limitierung bei der Mikrostrukturierung mit ps-Laserstrahlung und Scanneroptik
Metadaten| Verfasserangaben: | J. Hildenhagen, M. Smarra, K. Dickmann |
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| Titel des übergeordneten Werkes (Deutsch): | Scientific Reports |
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| Verlag: | Journal of the University of Appl. Sciences |
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| Verlagsort: | Mittweida |
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| Dokumentart: | Beitrag in einem Buch (Kapitel) |
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| Sprache: | Deutsch |
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| Jahr der Fertigstellung: | 2012 |
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| Jahr der Erstveröffentlichung: | 2012 |
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| Datum der Freischaltung: | 11.01.2019 |
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| Auflage: | 2 |
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| Erste Seite: | 66 |
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| Letzte Seite: | 69 |
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| Fachbereiche: | Physikingenieurwesen (PHY) |
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| Lizenz (Deutsch): |  Bibliographische Daten |
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