TY  - JOUR
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A1  - Hildenhagen, J.
A1  - Dickmann, K.
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JF  - Laser Magazin
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TY  - CHAP
A1  - Hildenhagen, J.
A1  - Engelhardt, U.
A1  - Smarra, M.
A1  - Dickmann, K.
T1  - Material specific effects and limitations during ps-laser generation of micro structures
T2  - Proceedings Volume 8247, Frontiers in Ultrafast Optics: Biomedical, Scientific, and Industrial Applications XII
Y1  - 2012
SN  - 978-0-8194-8890-9
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SP  - 824711, S. 1
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PB  - SPIE
CY  - USA
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TY  - JOUR
A1  - Engelhardt, U.
A1  - Hildenhagen, J.
A1  - Dickmann, K.
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JF  - Laser Technik Journal
Y1  - 2011
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ER  -