TY  - CHAP
A1  - Hildenhagen, J.
A1  - Smarra, M.
A1  - Dickmann, K.
T1  - Materialspezifische Effekte und Limitierung bei der Mikrostrukturierung mit ps-Laserstrahlung und Scanneroptik
T2  - Scientific Reports
Y1  - 2012
UR  - https://www.hb.fh-muenster.de/opus4/frontdoor/index/index/docId/5443
SP  - 66
EP  - 69
PB  - Journal of the University of Appl. Sciences
CY  - Mittweida
ER  -