TY - CHAP A1 - Smarra, M. A1 - Hildenhagen, J. A1 - Dickmann, K. T1 - Kopplung eines chromatischen Sensors an eine Pikosekunden-Laseranlage zur Vermessung generierter Mikrostrukturen T2 - Scientific Reports Y1 - 2012 UR - https://www.hb.fh-muenster.de/opus4/frontdoor/index/index/docId/5445 SP - 87 EP - 89 PB - Journal of the University of Appl. Sciences CY - Mittweida ER -